清洁硅片 海关归类咨询
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行业分类
其他商品
产品中文名称
清洁硅片
产品英文名称
CCW,SPIN,300MM,N,SC4,HT
用途
货物本质上是由一块未掺杂，且未形成分立的导电区的硅片（含硅量99.9999%）底部粘了一层有机聚合物的膜组成，可以进入半导体设备中后，把Echunk（晶圆载台）上的杂质粘到polymer膜上后，再通过wafer运输系统把粘有杂质的CCW带出设备中，从而实现不开chamber对Echunk的清洗。
成分
Si+polymer
CAS
-
品牌（中文及英文）
无
型号
无
其他相关产品信息
未掺杂，未形成分立的导电区，直径30cm，850微米 厚度
功能
货物本质上是由一块未掺杂，且未形成分立的导电区的硅片（含硅量99.9999%）与一层有机聚合物的膜构成的，可以进入半导体设备中后，把Echunk（晶圆载台）上的杂质粘到polymer膜上后，再通过wafer运输系统把粘有杂质的CCW带出设备中，从而实现不开chamber对Echunk的清洗。
材质
Si+polymer